計算機的出現和迅速發展，為三坐標測量數據的存儲、轉換、綜合處理提供了無比先進的工具，它幾倍、幾百倍的提高了數據處理和應用效率。計算機的高速運行使三作標測量機無論在測量速度還是在可靠性方面都向前發展了一大步。
新型材料的應用是在三坐標測量機的另一大進步，以玻璃陶瓷作光柵尺，避免了在使用玻璃或鋼光柵尺出現的熱膨脹系數的不確定度，其系數為0±0.05x10-6l/K，當溫度從20攝氏度到30攝氏度，500mm長的玻璃光柵尺最多增長0.25微米。
外界熱流造成的矩形元件內不同溫度層回引起導軌變形，直接影響整機的測量精度。表面加工實效處理和涂敷處理技術，即“CARAT”技術（即帶涂層抗時效的鋁合金技術的縮寫）解決了這一問題，在同等條件下，CARAT導軌的變形量比花崗巖小10倍，比鋼小18倍。
總之使用新材料及適當的材料處理都是為了三坐標測量機對溫度不敏感，其有效程度可以和使用軟件補償的方法相媲美，但測量溫度的傳感器或儀器的準確度都有一定的限制。因此三坐標的測量機的發展方向，是用最合理的方法盡量消除由溫度造成的影響，然后在把剩余的影響進行補償。
除以上所介紹的高新技術以外，象高速掃描探頭和自動更換探頭技術以及空氣軸承等也已經應用到了三坐標測量機中。
今后三坐標測量機的應用將不只作為工件的終端檢驗，而是擴大其使用性能，如對零件的測繪，可得到整體外形的設計圖樣，以及與加工中心聯機，作為工件生產過程中的隨機檢驗，可提高工作效率，節約人力、材料、時間。
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